Unity-SC démontre sa capacité unique à détecter les potentiels défauts catastrophiques de non-dispersion sur les substrats en arséniure de gallium en collaboration avec un important fabricant de diodes VCSEL

En collaboration avec un acteur clé du marché des diodes laser à cavité verticale émettant par la surface (VCSEL), Unity-SC a été en mesure d'améliorer le rendement de celles-ci en écartant les plaquettes (wafers) qui présentaient des défauts visibles uniquement avec LIGHTsEE PSDtm.

S'ils ne sont pas détectés, ces défauts peuvent entraîner une panne dans la suite du processus ou après la livraison du système.

GRENOBLE, France, 17 juillet 2019 /PRNewswire/ -- Au cours des dix dernières années, les diodes VCSEL ont suscité un intérêt croissant dans de nombreux domaines en raison de leurs propriétés optiques et électriques uniques, qui s'ajoutent aux grands avantages qu'elles offrent en termes de tests en ligne et de fabricabilité. Principalement basées sur des wafers en arséniure de gallium (GaAs) pour les longueurs d'onde « rouge à infrarouge », elles sont largement utilisées dans les technologies de télédétection par laser (lidar) et de reconnaissance 3D. Grâce aux applications automobiles, le marché du lidar est en plein essor, tout comme le besoin de dispositifs qui ne tombent pas en panne. La détection 3D représente également un marché très important, car les fabricants de smartphones intègrent désormais de tels capteurs pour la reconnaissance faciale. De ce fait, le besoin de systèmes d'inspection GaAs de grande qualité et grande fiabilité ne cesse de croître.

Unity^SC s'est non seulement illustrée dans les systèmes d'inspection par balayage de surface (SSIS) et d'inspection optique automatique (AOI) plus répandus, mais a aussi démontré sa capacité unique à détecter des défauts topographiques invisibles autrement. Ces défauts ne sont pas visibles sur les systèmes d'inspection optique standard, car ils ne diffusent ni n'absorbent la lumière et ne peuvent être révélés que par leur topographie. Bien qu'ils aient peu d'impact sur la qualité structurelle du substrat en tant que tel, ils peuvent entraîner une panne du dispositif dans la suite du processus. Par exemple, lors de la fabrication des réflecteurs de Bragg distribués, ces défauts topographiques peuvent conduire à des périodes de Bragg erronées ou, dans certains cas spécifiques, à des fissures dues aux tensions. Ces défaillances peuvent survenir pendant le processus ou après la livraison du système dans des conditions de chaleur ou de tension, et cela entraîne alors une panne du système.

Grâce à la déflectométrie par décalage de phase (PSD) intégrée dans la série LIGHTsEEtm, ces défauts peuvent être facilement détectés. La PSD fournit une solution de wafer complet, sans contact et à haut débit, qui présente une sensibilité au champ hauteur inférieure à 5 nm. Comme l'acquisition se fait sans déplacer le substrat, elle est libérée des tensions et s'adapte à tout substrat fragile.

Cette technologie a été éprouvée auprès d'un grand fabricant de diodes VCSEL et a fait montre d'une amélioration du rendement et d'une diminution des pannes du dispositif en supprimant systématiquement les « dies » (petits blocs rectangulaires résultant de la découpe d'un wafer) impactés par de tels défauts. Par conséquent, en utilisant la PSD dans le contrôle qualité à l'arrivée, les fabricants de VCSEL peuvent encore augmenter leur rendement et améliorer leur chaîne logistique.

À propos d'Unity^SC

Basée à Montbonnot, en France, Unity^SC est reconnue dans le monde entier comme un acteur majeur dans l'inspection et la métrologie, qui associe des technologies de pointe dans l'inspection optique automatisée et l'imagerie 3D avec le balayage linéaire à grande profondeur de mise au point, l'interférométrie en mode temporel, la spectrométrie et l'analyse des déphasages. Cela permet aux clients d'obtenir des rendements plus élevés et des délais de commercialisation plus rapides. Nous proposons des solutions normalisées et personnalisées qui sont adaptées à des besoins et contraintes spécifiques de l'industrie, ouvrant ainsi une nouvelle ère dans le contrôle des processus. Vous en saurez plus en cliquant sur unity-sc.com.

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