UnitySC dévoile une nouvelle plateforme de métrologie pour conditionnement avancé et un écosystème de traitement de tranches dans la fabrication de semi-conducteurs

UnitySC continue d'apporter des innovations à ses produits de métrologie et d'inspection pour fournir des solutions qui répondent à la plupart des besoins avancés en matière de procédés de fabrication des semi-conducteurs.

GRENOBLE, France, 10 juillet 2019 /PRNewswire/ -- UnityS,C chef de file européen et acteur majeur des solutions de métrologie et d'inspection, a lancé aujourd'hui le système Unity_ATHOS tm destiné au contrôle des procédés et à la métrologie avancée 2D/3D dans le fan-out haute densité, le fan-out intégré et le conditionnement hétérogène avec et sans TSV (Through-Silicon Vias).  Le nouveau système de métrologie et d'inspection Unity_ATHOS tm a été conçu pour servir de multiples applications, notamment le contrôle de l'empilage de puces dans la fixation hybride de la puce à la tranche dans les conditionnements hétérogènes, les diluants à composé MOLD et la détection de vide 3D, le TSV haute densité (du décapage à la révélation Cu), µbump et RDL jusqu'à s/l 1/1 µm S/L.

La nouvelle plateforme Unity_ATHOS tm est jusqu'à 30 % plus rapide, plus précise et avec un coût de possession moins élevé que la génération TMAP. Elle est en outre développée pour satisfaire les feuilles de route les plus avancées de nos clients à la suite de discussions approfondies avec nos principaux partenaires. Grâce à sa conception modulaire, elle peut être configurée en fonction des besoins de chaque client, permettant la flexibilité et sans compromis sur la performance.

La solution Unity_ATHOS tm peut également prendre en charge le contrôle des procédés de fabrication des OSAT, fonderies et IDM dans les processus critiques comme l'amincissement et la découpe des tranches.

Le système Unity_ATHOS tm peut être configuré pour traiter des plaques et panneaux d'une épaisseur allant jusqu'à 300 mm, y compris les tranches minces, les tranches reconstruites et les tranches montées sur un cadre de découpe. 
L'association de la microscopie optique NIR/VIS avec des techniques interférométriques à large bande et confocales chromatiques permettent une inspection 2D et 3D des faces avant et arrière de la tranche pour assurer le développement du procédé et la réussite de la fabrication à haut volume.

Le système Unity_ATHOS tm est proposé aujourd'hui de façon autonome avec jusqu'à trois configurations de port de 300 mm. Il est compatible avec les normes de fabrication ISO 5 à ISO 2, et est prêt à être intégré dans le même cluster que le produit LighTiX.

« Nous sommes fiers chez UnitySC d'annoncer la sortie de la nouvelle conception de la solution de contrôle des procédés afin de servir nos partenaires dans le secteur des semi-conducteurs et plus précisément, du conditionnement avancé. Ce nouveau produit rejoint la solution de contrôle des procédés existantes basée sur LighTiX, LightsEE et LightSpeed. Il devrait contribuer de façon significative à consolider la position d'UnitySC en tant que chef de file des solutions axées sur le client dans le domaine du conditionnement avancé et comme partenaire pour réaliser les procédés de fabrication difficiles », a déclaré Kamel Ait-Mahiout, PDG d'Unity SC.

Pour plus d'informations sur la nouvelle suite d'inspection, veuillez contacter l'équipe d'UnitySC à SEMICON® WEST, IMAPS 2019 ou consulter le site Web d'UnitySC à l'adresse : www.unity-sc.com.  

À propos d'UnitySC

Basée à Montbonnot, en France, UnitySC est reconnue dans le monde entier comme un acteur majeur dans l'inspection et la métrologie, associant des technologies avancées dans l'inspection optique automatisée et l'imagerie 3D avec le balayage linéaire à grande profondeur de mise au point, l'interférométrie en mode temporel, la spectrométrie et l'analyse des déphasage. Le portefeuille de la société, qui s'est récemment élargi avec l'acquisition de l'entreprise HSEB basée en Allemagne, permet aux clients d'obtenir des rendements plus élevés et d'atteindre des délais de commercialisation plus rapides. Nous proposons des solutions normalisées et personnalisées adaptées à des besoins et contraintes industriels spécifiques, ouvrant une nouvelle ère dans le contrôle des procédés. Apprenez-en plus sur unity-sc.com.

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